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株式会社松崎製作所はシリコンウェーハの研磨加工・販売をおこなっています。
株式会社松崎製
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TEL.
03-5479-4771
品質への取り組み
QUALITY
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出荷品質
表面パーティクル・・・0.2μm以上のパーティクルがウェーハ表面に20個以下のレベル
表面金属不純物 ・・・1×10
10
atoms/p
2
以下のレベル(元素:Fe,Ni,Cu,Zu,Cr,Al,Na)
ウェーハ平坦度 ・・・表面内での厚さばらつき 5μm以下のレベル
(上記はお客様のご要望によります。詳細は弊社までお問い合わせください。)
各種測定機
表面検査装置
最終検査で 表面パーティクルを測定します。
平坦度測定機
ウエーハの平坦度を測定します。
ICP-MS分析
製品の表面金属不純物を分析します。
管理設備
超純水製造設備
ウエーハの洗浄に必要な超純水を製造しています。
クリーンルーム
最終検査はクラス100の部屋で行います。
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